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低氘水純化設備主要有蒸餾、電解、化學交換三種工藝。蒸餾法借沸點差異分離，電解法憑電極反應速率不同制得，化學交換法靠催化反應轉移氘。實際中常結合多法，還會監測氘含量以保障產品質量。

EP級精餾裝置是生產電子特氣的核心設備，通過精密精餾提純，使氣體純度達 99.999% 以上，滿足半導體需求

搪瓷精餾裝置是結合搪瓷防腐與精餾工藝的設備，核心部件帶搪瓷層，耐酸、堿、有機溶劑（除氟化物），表面潔凈，適用于醫藥、精細化工等領域分離強腐蝕性物料。但搪瓷層脆性大，忌沖擊和驟溫。

多管精餾塔是高效分離設備，含多根平行塔管，內裝填料或塔板。通過氣液在管內逆向接觸傳質，實現混合物分離。適用于大規模生產，效率高、能耗低，廣泛應用于化工、石化、制藥等領域，可分離沸點相近或復雜組分混合物。

搪瓷精餾塔是一種耐腐蝕的傳質設備，以金屬為基體，內壁涂覆耐高溫、耐化學腐蝕的搪瓷層。 其利用混合物中各組分揮發度差異，通過塔內填料或塔板實現氣液傳質，達到分離提純目的。 適用于化工、制藥等領域處理酸性或腐蝕性物料，兼具金屬強度與非金屬耐腐蝕性，但需避免劇烈沖擊以防搪瓷層破損。

三塔連續精餾裝置是化工高效分離的核心設備，在咔唑提純中作用顯著。它由前餾分塔、中間餾分塔和產品塔串聯而成：前餾分塔先分離輕組分；中間餾分塔在負壓下深化分離；產品塔則在高真空下提取高沸點目標組分，獲高純度產品。裝置采用連續化操作，結合 PLC 系統精準調控壓力、溫度、流量等參數，既提高生產效率，又降低能耗，保障分離高效穩定。