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低氘水純化設(shè)備主要有蒸餾、電解、化學(xué)交換三種工藝。蒸餾法借沸點差異分離，電解法憑電極反應(yīng)速率不同制得，化學(xué)交換法靠催化反應(yīng)轉(zhuǎn)移氘。實際中常結(jié)合多法，還會監(jiān)測氘含量以保障產(chǎn)品質(zhì)量。

低氘水設(shè)備采用優(yōu)良的物理法同位素分離工藝，結(jié)合了熱泵能量回收技術(shù)。該技術(shù)通過利用混合物中各組分揮發(fā)度的差異，在設(shè)備內(nèi)將含有不同氘含量的水加熱至汽化形成汽液混合物，因氘和氫相對分子質(zhì)量不同，揮發(fā)度有差異，含氘量低的水蒸汽上升（輕組分），含氘量高的水下降（重組分） ，經(jīng)過多次汽化冷凝過程，最終在塔頂?shù)玫降碗羝?jīng)冷凝后成為低氘水產(chǎn)品。

低氘水精餾設(shè)備是一種用于分離氘和氫，從而生產(chǎn)低氘水的設(shè)備。 其原理是基于氘和氫的揮發(fā)性差異。在精餾塔中，水被加熱變成蒸汽，由于氘和氫形成的水分子（H?O和D?O，D是氘）揮發(fā)性不同，蒸汽在塔內(nèi)上升過程中經(jīng)過多次部分冷凝和蒸發(fā)，輕組分（含氘少的水）和重組分（含氘多的水）逐步分離，最終在塔頂?shù)玫降碗?/p>